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  • iFocus晶圓檢測系統

    iFocus是一款用于晶圓外觀缺陷檢測設備,利用STI的2D/3D視覺檢測系統,采用雙2D Camera同時采集亮區和暗區照片分析特征缺陷;True 3D技術,可以精確量測Bumping高度,Bumping共面性等特征。可適用于EWLB/CMOS/MEMS/LED/LENS/GLASS WAFER/GAS WAFER/COG等產品外觀檢測。

    更新時間:2024-11-09
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