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FPD Photomask缺陷檢查裝置

簡要描述:LODAS™ – LI系列是列真株式會社推出的一款FPD Photomask缺陷檢查裝置。

  • 產品型號:LODAS™ – LI系列
  • 廠商性質:代理商
  • 產品資料:
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 1827

詳細介紹

列真株式會社自創業以來,秉承“挑戰"、“創造"、“誠實"的經營理念,為顧客提供可靠、可信的產品和服務。運用激光掃描技術,專門制造、銷售半導體材料表面及內部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。


特征:

  • A面、B面同時檢查

  • 可支持G10、G8、G6尺寸

  • 用微分干涉顯微鏡判斷、分析表面和背面缺陷

  • 檢查對象:FPD Photomask Substrate、Cr、Resist Blanks

  • 檢查項目:表面和背面顆粒、內部缺陷


列真公司檢查裝置的維護、修理

  • 定期支持裝置安裝完成后的性能維持。

  • 24小時電話對應,全年無休的安心支持。

  • 認真對待客戶新的要求。

  • 召開技術研討會和充實各種手冊,讓顧客能夠自行維護和更換零件。

  • 提供HDD、激光光源等消耗品的免費診斷服務。


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