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  • Orzew FC20/FC20X全自動晶圓關鍵尺寸檢測及分選機

    Dymek Orzew FC20使用無接觸式單側紅外干涉光傳感器,搭配標準真空吸附晶圓載臺,Dymek Orzew FC20X使用無接觸式點光譜共焦對射傳感器,搭配符合行業標準的三點支撐水平載臺,兩套系統均配有高速、高精度運動模組和晶圓機械手,滿足亞微米級的形 貌測量需求,可選裝配電阻率測試模塊,滿足更多樣化的量測需求,適應更多的晶圓制程。

    更新時間:2024-11-09
    型號:Orzew FC20/FC20X
    廠商性質:代理商
    瀏覽量:6206
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