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QuickOCT-4D —膜厚輪廓儀

簡要描述:QuickOCT-4D™ 將單點可見光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 (SD-OCT) 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運動控制平臺相結(jié)合,可以在高達 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度(高達 100μm)和軸向分辨率 (5nm) 針對半導(dǎo)體、生命科學(xué)和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測量進行了優(yōu)化。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 1722

詳細介紹

QuickOCT-4D™ 將單點可見光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 (SD-OCT) 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運動控制平臺相結(jié)合,可以在高達 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度(高達 100μm)和軸向分辨率 (5nm) 針對半導(dǎo)體、生命科學(xué)和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測量進行了優(yōu)化。



系統(tǒng)特點

· 緊湊的臺式裝置,帶環(huán)境外殼

· 單點、非接觸式、可見光、光譜域光學(xué)相干斷層掃描 (SD-OCT) 傳感器,測量速率高達 66 kHz

· 針對測量高反射材料上多層透明薄膜的形貌和厚度進行了優(yōu)化

· 納米編碼的 X/Y/Z 運動,帶有磁性直線電機和交叉滾子軸承,可在 100mm (X)、100mm (Y)、50mm (Z) 上快速光柵或螺旋掃描

· 可用于樣品和托盤固定的真空吸盤

· 用戶友好的 CalcuSurf-4D™ 配方生成、數(shù)據(jù)采集、表面形貌和多層薄膜分析軟件允許優(yōu)化測量采樣密度,從而在最高通量下實現(xiàn)優(yōu)良覆蓋


SD-OCT技術(shù)概述

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