光學(xué)輪廓儀是一款便捷的、精確的、實(shí)用的非接觸三維形貌測(cè)量系統(tǒng)。它建立在移相干涉測(cè)量（PSI）、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光垂直掃描干涉測(cè)量（CSI）)等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測(cè)件的表面粗糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。
在發(fā)展初期，光學(xué)輪廓儀主要采用傳統(tǒng)的光學(xué)成像技術(shù)，通過(guò)鏡頭和傳感器來(lái)獲取物體的輪廓信息。隨著數(shù)字成像技術(shù)的發(fā)展，現(xiàn)代光學(xué)輪廓儀開(kāi)始廣泛應(yīng)用高分辨率CCD或CMOS傳感器，并結(jié)合數(shù)字信號(hào)處理和計(jì)算機(jī)視覺(jué)算法，實(shí)現(xiàn)對(duì)物體輪廓的高精度測(cè)量和分析。
同時(shí)，隨著激光技術(shù)和光學(xué)干涉技術(shù)的進(jìn)步，光學(xué)輪廓儀也逐漸引入了激光投影和相位差測(cè)量等高精度技術(shù)，提高了測(cè)量的精度和準(zhǔn)確性。此外，一些光學(xué)輪廓儀還結(jié)合了自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)掃描等功能，使得測(cè)量更加便捷和高效。
目前，光學(xué)輪廓儀具有許多和大型機(jī)臺(tái)一樣的優(yōu)點(diǎn)，包括：測(cè)量設(shè)置簡(jiǎn)單易學(xué)，高速數(shù)據(jù)采集能力，強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析能力以及0.1納米量級(jí)的測(cè)試重復(fù)精度。可選配自動(dòng)樣品臺(tái)使儀器實(shí)現(xiàn)程序化。
光學(xué)輪廓儀的量測(cè)性能與其它同類產(chǎn)品相當(dāng)，但其較小的尺寸及靈活的配置為用戶將來(lái)的發(fā)展提供了基礎(chǔ)。系統(tǒng)包含了完整版的Vision分析軟件，該軟件是行業(yè)內(nèi)功能較全的分析軟件，可實(shí)現(xiàn)二維和三維的數(shù)據(jù)分析及可視化功能。Vision軟件為用戶提供了200余種分析工具，包括自動(dòng)測(cè)序功能、數(shù)據(jù)記錄和實(shí)時(shí)反饋及統(tǒng)計(jì)控制過(guò)程的合格/不合格標(biāo)準(zhǔn)。用戶采用可選的軟件包還可以定制專門的數(shù)據(jù)分析用戶界面。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)有以下7點(diǎn)：
1、Nikon干涉物鏡；
2、TMC光學(xué)隔振臺(tái)；
3、PI納米移動(dòng)平臺(tái)及控制系統(tǒng)；
4、NI信號(hào)控制板和Labview64 控制軟件；
5、美國(guó)硅谷研發(fā)的合心技術(shù)和系統(tǒng)軟件；
6、關(guān)鍵硬件采用美國(guó)、德國(guó)、日本等品牌；
7、測(cè)量準(zhǔn)確度重復(fù)性達(dá)到先進(jìn)水平（中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院證書(shū)）。
光學(xué)輪廓儀是一種用于測(cè)量物體表面輪廓的精密儀器。它利用光的干涉原理，通過(guò)對(duì)物體表面的光學(xué)掃描，生成物體表面的三維圖像，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)物體表面紋理、形狀、尺寸等參數(shù)的精確測(cè)量。這種儀器主要應(yīng)用于微電子、精密機(jī)械、光學(xué)元件、材料科學(xué)等領(lǐng)域。
未來(lái)，隨著人工智能和機(jī)器學(xué)習(xí)的發(fā)展，光學(xué)輪廓儀還將進(jìn)一步提升智能化水平，實(shí)現(xiàn)對(duì)圖像數(shù)據(jù)的智能分析和處理，為工業(yè)生產(chǎn)、質(zhì)量檢測(cè)等領(lǐng)域提供更加精準(zhǔn)和可靠的輪廓測(cè)量解決方案。
